12月2日，南大光電在投資者互動平臺表示，擴(kuò)產(chǎn)2,000噸/年三氟化氮進(jìn)展順利。

關(guān)于“光刻膠缺陷檢測儀是否是公司光刻膠得到客戶驗(yàn)證量產(chǎn)繞不過的必要條件”的問詢，南大光電回應(yīng)，缺陷檢測儀主要針對28nm以下工藝制造的光刻膠檢測，目前公司ArF光刻膠聚焦28nm-90nm工藝驗(yàn)證，涉及的主要檢測設(shè)備如光刻機(jī)已經(jīng)正常投入使用。

此前，南大光電在接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時表示，公司ArF光刻膠產(chǎn)品分別通過一家存儲芯片制造企業(yè)和一家邏輯芯片制造企業(yè)的驗(yàn)證，目前多款產(chǎn)品正在多家客戶同時進(jìn)行認(rèn)證。

另外，關(guān)于年產(chǎn)45噸半導(dǎo)體先進(jìn)制程用前驅(qū)體產(chǎn)品市場前景，南大光電稱，本次募投的年產(chǎn)45噸半導(dǎo)體先進(jìn)制程用前驅(qū)體產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目預(yù)計建設(shè)期為1年，生產(chǎn)期14年，靜態(tài)投資回收期為4.09年，市場前景良好。